氣體質(zhì)量流量控制器的原理是什么?
質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器、通道、電磁調節閥和電路板等部分組成。氣體流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量(無(wú)需溫度壓力補償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大, 放大后的流量檢測電壓與設定電壓進(jìn)行比較, 再將差值信號放大后去控制調節閥門(mén),閉環(huán)控制流過(guò)通道的流量使之與設定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質(zhì)量流量控制器配套的流量積算儀上設置有穩壓電源, 設定電位器, 和三位閥控開(kāi)關(guān)等。
如何通過(guò)質(zhì)量流量控制器判斷沒(méi)有氣體通過(guò)?
質(zhì)量流量控制器(MFC)是用來(lái)控制氣體流量的,質(zhì)量流量計(MFM)是用來(lái)測量氣體流量,如果你需要檢測氣體流量需要用MFM。 當然MFC還是有檢測方法的,如果通過(guò)氣體流量比較大,壓比較大,可以為MFC設定一個(gè)大流量,MFC會(huì )反饋一個(gè)值,這個(gè)值就是氣體的流量。 如果流量比較小,壓力比較小MFC就不能測出來(lái)了,因為MFC壓損通常是比較大的,如果氣體流量比較小,壓力比較小就沒(méi)辦法測量了,就需要抵壓損的MFM。
氣體質(zhì)量流量控制器的零點(diǎn)漂移?
微小的零點(diǎn)漂移是不會(huì )影響傳感器的測量精度和數值的,但是如果是零點(diǎn)漂移較大或用戶(hù)在使用時(shí),對零點(diǎn)漂移的數值有疑問(wèn),那么這時(shí)候如何解決漂移顯得非常重要。 熱式氣體質(zhì)量流量控制器和流量計會(huì )有零點(diǎn)漂移情況,零點(diǎn)漂移也就是管道中已經(jīng)沒(méi)有介質(zhì)流動(dòng)但質(zhì)量流量計仍顯示流量值。如果是零點(diǎn)出現大幅漂移,而且每次漂移差別很大,就需要檢查管道內使用有大量的壓力或氣體殘留,需要打開(kāi)各種閥門(mén),全部排空氣體管路,防止設備或管路憋壓。
一般造成質(zhì)量流量計零點(diǎn)漂移的因素有許多,解決質(zhì)量流量計零漂問(wèn)題,首先要定期進(jìn)行零點(diǎn)檢查和調整,二是需要和工藝配合來(lái)解決。一般情況下,管道壓力變化造成介質(zhì)微量流動(dòng)也會(huì )導致質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計的零點(diǎn)漂移,出現這種漂移時(shí),要關(guān)閉流量控制器或流量計前段的電磁閥(流量控制器不能當做截止閥來(lái)使用),使管道內處于完全零流狀態(tài)或在管道適當位置設置排氣口,消除管道內的壓力和氣流,從而達到消除零點(diǎn)漂移。